8月7日上午10点，电子电气工程学院在交通楼7950会议室举办专题学术报告。清华大学精密仪器系王超教授应邀作题为“人工智能驱动的集成电路制程设备发展现状”的学术报告。学院相关教师、研究生及本科生积极参加。
首先，学院党委书记王成涛介绍了王超教授。王超教授现任清华大学精密仪器系教授、博士生导师，在集成电路装备领域取得了丰富成果，获得第十五届中国青年科技奖、中国电子学会技术发明一等奖等荣誉。
报告围绕人工智能时代集成电路产业的发展需求展开。王超指出，随着大模型、多模态人工智能等技术快速发展，算力需求呈指数级增长，对先进芯片制造提出了更高要求。集成电路作为人工智能算力的重要基础，其制造能力已成为信息产业自主可控发展的关键环节。
王教授系统介绍了集成电路芯片制程设备的发展现状，重点围绕光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、热工艺、清洗、检测以及化学机械抛光（CMP）等关键制造装备展开分析。他指出，当前先进芯片制造对设备性能提出了更高要求，国际先进生产线投资巨大，其中大部分资金用于制程设备采购，体现了高端装备在产业链中的重要地位。王教授重点介绍了AI技术在制程设备智能化升级中的应用。他表示，人工智能能够通过对设备图像、传感器信号以及多物理场数据进行实时建模和分析，实现设备状态感知、工艺预测和闭环优化，从而推动集成电路制造向智能化方向发展。 在谈到我国集成电路装备发展现状时，王教授介绍了近年来国内在芯片制造设备领域取得的重要进展。随着国家政策支持和产业投入不断加强，我国集成电路装备国产化水平逐步提升，在刻蚀、薄膜沉积、清洗、检测等领域取得积极突破，但在部分先进制程关键设备方面仍面临挑战，需要持续加强技术创新和人才培养。
报告过程中，现场师生认真聆听，并围绕人工智能赋能芯片制造、先进制程装备研发、国产半导体设备发展路径等问题与王教授进行了深入交流。王教授结合自身科研经历和产业实践，对师生提出的问题进行了细致解答，现场学术氛围浓厚。
此次专题报告不仅拓宽了师生对人工智能与集成电路装备交叉融合发展的认识，也进一步促进了电子电气工程学院与国内高水平专家团队之间的学术交流，为学院相关学科建设、人才培养和科研创新提供了有益启发。
