姓名

王超

性别

男

职称

教授

研究方向

复杂环境下的在线监测技术研究及设备研发

电子邮箱

c_wang@tsinghua.edu.cn

个人简介

王超，清华大学精密仪器系教授、博士生导师，国家级高层次人才计划入选者，长期专注于复杂环境在线监测技术与仪器研发，研究方向覆盖集成电路制造与航空发动机涡轮叶片在线监测等关键领域。在集成电路制造装备监测方面，面向半导体设备有限测温点位下的高精度测温需求，研制出集成式温度监测微系统，基于微型IC传感与稀疏点阵重建算法，在超薄结构中实现了晶圆温度场的高精度重构，其中TC-WAFER产品已达到商业级标准。在航空发动机涡轮叶片监测方面，成功研制出涡轮叶片测温仪；进一步扩展至叶片应变场监测领域，开发了温度场/应变场集成监测仪初样机，实现了对叶片表面非均匀热应变场的重构。

主要成果

近年来，主持国家重大科研仪器研制项目等省部级及以上项目10余项。研究成果授权美国及中国发明专利80余项，发表高水平学术论文100余篇；出版芯片制造相关书籍一部；获第十五届中国青年科技奖，并以第一完成人获中国电子学会技术发明一等奖、中国发明协会发明创业奖创新奖一等奖、四川省自然科学一等奖等。